蠕動(dòng)泵在在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
發(fā)布時(shí)間2022-06-28 16:49:37瀏覽人數(shù)：985
高精度蠕動(dòng)泵具有選擇流量、獲得所需流量、設(shè)置工作時(shí)間、啟動(dòng)連續(xù)循環(huán)間隔、自動(dòng)計(jì)算流量和運(yùn)輸量等功能。當(dāng)注入量達(dá)到預(yù)設(shè)量時(shí)，將自動(dòng)發(fā)出聲音警報(bào)，并具有斷電數(shù)據(jù)保護(hù)功能，停止工作后再打開一次，最后設(shè)置的數(shù)據(jù)將繼續(xù)可用。
半導(dǎo)體制造應(yīng)始終控制工藝工具的液體流動(dòng)，棘手的應(yīng)用之一是化學(xué)機(jī)械平整(CMP)。CMP工具無(wú)法為拋光基板分配一致的漿速時(shí)，對(duì)產(chǎn)量、化學(xué)物質(zhì)使用和材料完整性有很大的負(fù)面影響。晶圓厚度的變化、缺陷密度的增加、工具停機(jī)時(shí)間和晶圓廢棄物的增加只是由于過(guò)程控制不良而可能出現(xiàn)的一些問(wèn)題。
能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動(dòng)泵通過(guò)控制料漿的輸送和分布，有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動(dòng)泵的無(wú)創(chuàng)設(shè)計(jì)提供了直線流動(dòng)路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過(guò)穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。
高精度蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對(duì)于CMP，它提供了在拋光過(guò)程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，通過(guò)變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過(guò)程的完整性。
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